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    如何處理真空系統污染

    21-06-2021

    低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣(鋼水處置)等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組,這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求,配置必要的除塵器、單調罐等部件。

    水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴,并與泵混合構成懸浮液,不只會使真空度降落,也能使泵腔與轉子生銹,破壞密封面,使泵的極限真空度降落。為此,防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有:

    (1 )選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵;

    (2 )裝油分別器、離心式分別器或油水分別器,將混有水的機械泵油中止處置,處置過的油再流入泵中運用;

    (3 )運用吸水性強的單調劑;

    (4 )運用液氮冷阱,不只能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。


    油擴散泵真空系統污染與防治
    油擴散泵真空系統是運用最普遍的真空系統,其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置,長期運用后,常見的缺點是真空度抽不上去,或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關,防止的辦法是:

    (1 )定期清洗真空室;

    (2 )定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。


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